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論文

リアルタイム光電子分光によるTi(0001)表面酸化反応の「その場」観察

高桑雄二*; 石塚眞治*; 吉越章隆; 寺岡有殿; 水野善之*; 頓田英樹*; 本間禎一*

表面科学, 24(8), p.500 - 508, 2003/08

https://doi.org/10.1380/jsssj.24.500

Ti(0001)表面の酸素分子による初期酸化過程の温度依存性を低エネルギー電子回折(LEED)とリアルタイム光電子分光で解析した。LEEDから酸化膜がエピタキシャル成長することが明らかとなった。酸素の光電子分光から酸素の拡散が温度によって促進され、400 $^{circ}$ Cで7nmにもなることが明らかになった。Tiの光電子分光から表面近傍ではTiO $_{2}$ が主であるが界面ではTiOやTi $_{2}$ O $_{3}$ も存在することが明らかになった。